臭氧流量計(jì)是種采用卡門（Karman）渦街原理研究生產(chǎn)的測(cè)量氣體、蒸汽或液體的體積流量、標(biāo)況的體積流量或質(zhì)量流量的體積流量計(jì)。主要用于工業(yè)管道介質(zhì)流體的流量測(cè)量，如氣體、液體、蒸汽等多種介質(zhì)。特點(diǎn)是壓力損失小，量程范圍大，精度高，在測(cè)量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數(shù)的影響。無可動(dòng)機(jī)械零件，因此可靠性高，維護(hù)量小。儀表參數(shù)能長期穩(wěn)定。臭氧流量計(jì)采用壓電應(yīng)力式傳感器，可靠性高，可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內(nèi)工作。有模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，也有數(shù)字脈沖信號(hào)輸出，容易與計(jì)算機(jī)等數(shù)字系統(tǒng)配套使用，是一種比較先進(jìn)、理想的測(cè)量儀器。
臭氧流量計(jì)在固有原理、結(jié)構(gòu)、安裝維護(hù)、運(yùn)行費(fèi)用和能耗等方面，有很大的優(yōu)勢(shì)，是目前氣體和低粘度液體的*佳選擇之一。但是臭氧流量計(jì)在某些方面具有技術(shù)難點(diǎn)需要克服。
本文主要探討在小流量低流速和大流量高流速的情況下，臭氧流量計(jì)檢測(cè)時(shí)的一些限制問題，提出了一些解決方案及實(shí)施效果。
1、臭氧流量計(jì)的優(yōu)缺點(diǎn)
臭氧流量計(jì)在諸多應(yīng)用方面都優(yōu)于傳統(tǒng)的孔板流量計(jì)。比如，孔板流量計(jì) 1 個(gè)測(cè)量回路靜密封點(diǎn)為 20 個(gè)左右。相比而言，臭氧流量計(jì)的靜密封點(diǎn)只有 3 個(gè)，不容易泄漏 ，它不受流體溫度、壓力還有密度等影響，流量系數(shù)長期不變。但是臭氧流量計(jì)在使用的時(shí)候，也存在一些問題。
1）由于臭氧流量計(jì)的原始信號(hào)為頻率信號(hào)，致使臭氧流量計(jì)實(shí)際為一種數(shù)字式儀表。它只要能正常工作，精度一定有保證。但是一旦不能正常工作，產(chǎn)生的測(cè)量誤差將非常大，甚至連流量的變化趨勢(shì)都不能指示，徹底不能工作。
2）漩渦升力與流量的平方呈正比、與流體的密度呈正比。因此，流量減小時(shí)，渦街信號(hào)以 2 階關(guān)系急劇減弱，而氣體的渦街信號(hào)遠(yuǎn)低于液體。在用于氣體流量檢測(cè)時(shí)，因低密度、低流速導(dǎo)致渦街信號(hào)微弱，*易湮沒在干擾之中，流量計(jì)無法正確識(shí)別出漩渦，致使測(cè)量失敗。
3）由于臭氧流量計(jì)傳感器必須敏感檢測(cè)小流量時(shí)微小的渦街升力，直接限制了傳感器的結(jié)構(gòu)。針對(duì)以上一些問題，下面將做部分探討。
2、臭氧流量計(jì)工作原理與結(jié)構(gòu)
2.1臭氧流量計(jì)的工作原理在日常生活中經(jīng)常能看到渦街現(xiàn)象，比如風(fēng)中的旗幟，由于旗桿產(chǎn)生的渦街而擺動(dòng)，風(fēng)越大，旗幟擺動(dòng)越快－－擺動(dòng)頻率與風(fēng)速呈正比。還有橋墩、煙囪、高樓的設(shè)計(jì)均需考慮渦街的破壞力。臭氧流量計(jì)就是參考日常生活中渦街現(xiàn)象的原理，在管道中插入合適大小和形狀的柱體（即渦街發(fā)生體）。當(dāng)流體流過時(shí)，在渦街發(fā)生體后兩側(cè)產(chǎn)生交替排列的漩渦，這種漩渦被稱為卡門漩渦。漩渦的頻率與流量呈正比。可用下式表示：F=stv/d式（1）中：f 為漩渦的頻率；v 為流過渦街發(fā)生體的流體的平均速度；d 為渦街發(fā)生體的流面寬度；St 為斯特勞哈爾數(shù)（Strouhal number），數(shù)值的范圍為 0.14 ～ 0.27。測(cè)量時(shí)，一般假定 St=0.2。由此，通過測(cè)量漩渦的頻率就可以計(jì)算出流過渦街發(fā)生體的流體平均速度 v，再由下式 ：Q=vA  可以求出流量 q。其中，A 為流體流過渦街發(fā)生體的截面積。
2.2臭氧流量計(jì)的結(jié)構(gòu) 臭氧流量計(jì)的基本結(jié)構(gòu)為傳感器和轉(zhuǎn)換器 2 大部分。傳感器包含渦街發(fā)生體、檢測(cè)元件等；轉(zhuǎn)換器包含有放大電路、濾波整形電路以及 D/A 轉(zhuǎn)換電路等；渦街發(fā)生體常見的有圓柱型、T 型柱、四角柱和三角柱。目前采用較多，反饋*好的是三角柱型的渦街發(fā)生體。檢測(cè)元件有壓電晶片、熱敏電阻、超聲波和應(yīng)變片差動(dòng)電容等。轉(zhuǎn)換器部分基本都智能化了，把微處理器芯片都安裝其中。渦街流量可直接在管道上安裝、互換性強(qiáng)、體積小、長期運(yùn)行精度高，可適用于大多數(shù)液體、蒸汽和氣體的測(cè)量。
3、小流量、低流速測(cè)量的限制問題基于臭氧流量計(jì)的原理，流量信號(hào)的強(qiáng)度與流量的平方成正比，即流速降低時(shí)，渦街信號(hào)將以平方關(guān)系急劇下降。

圖 2 顯示流量由零增大時(shí)，渦街信號(hào)的波形記錄。在相同條件之下，1m/s 流速的氣體產(chǎn)生的漩渦力僅是 5m/s 流速時(shí)的 1/25。為保證小流量的檢測(cè)，必須具備*高的漩渦振動(dòng)檢測(cè)靈敏度，將流量信號(hào)放大數(shù)千倍，由此導(dǎo)致臭氧流量計(jì)對(duì)于蒸汽管道的振動(dòng)*為敏感，無流量時(shí)指示的實(shí)際為振動(dòng)干擾信號(hào)，這是臭氧流量計(jì)在實(shí)際應(yīng)用中*大的問題。臭氧流量計(jì)的檢測(cè)部件利用壓電晶片來檢測(cè)漩渦的頻率 f，由此得到電壓信號(hào)。此電壓信號(hào)需要經(jīng)過放大電路和觸發(fā)裝置，將漩渦頻率*終變成儀器所能顯示的脈沖信號(hào)。此脈沖信號(hào)再次送入轉(zhuǎn)換儀表裝置換算成可顯示的被測(cè)流量。其中，放大器的放大倍數(shù) A 和觸發(fā)器的門限電壓均可以進(jìn)行調(diào)整。

如圖 3 所示。圖 3 中輸入信號(hào)電壓為 E，噪聲信號(hào)轉(zhuǎn)換到電壓輸入端為 V, 門限電壓 U 通過放大器輸出為 u, 放大器的放大倍數(shù)為 A。因 u=AU，所以改變 A 或者 U 的效果是相同的。
如圖 4 所示。要使得觸發(fā)器的輸出信號(hào)為有效信號(hào)，必須使得觸發(fā)器輸入的有效信號(hào) u 遠(yuǎn)大于噪聲信號(hào)。因此，臭氧流量計(jì)正常工作的必要條件是：E > u > V。當(dāng)臭氧流量計(jì)測(cè)量低流速、小流量流體的時(shí)候，依據(jù)上述分析必須提高信噪比，盡量提高輸入流量的有效信號(hào)，降低機(jī)械振動(dòng)產(chǎn)生的干擾信號(hào)的幅值。因此，可以修正阻流體的結(jié)構(gòu)形狀，使傳感器能更好地接收漩渦的脈動(dòng)頻率，這樣可以大幅度提高有效信號(hào)的幅值。另一種更實(shí)際有效的辦法是在漩渦發(fā)生體的兩端分別安裝 1 對(duì)對(duì)稱的壓電晶體，采用差動(dòng)式的壓電傳感器感知信號(hào)，并利用差動(dòng)放大電路來放大信號(hào)，如圖 4 所示。
由于電路中機(jī)械振動(dòng)產(chǎn)生的干擾對(duì) 2 塊壓電晶體的作用力是一致的，并且流體漩渦在阻流體兩側(cè)是交替產(chǎn)生的，所以干擾產(chǎn)生的信號(hào)通過差動(dòng)放大后，機(jī)械振動(dòng)信號(hào)因?yàn)橄嗤嗷サ窒鳒p，而塊壓電晶體相反的流量信號(hào)相加后增強(qiáng)。于是，大大降低了機(jī)械振動(dòng)信號(hào)的干擾。

4、大流量、高流速測(cè)量的限制問題通常認(rèn)為，管道里的蒸汽流速不會(huì)超過 60m/s，在選擇流量計(jì)時(shí)，量程達(dá)到 60m/s 就已足夠，而采用在線實(shí)時(shí)頻譜分析時(shí)發(fā)現(xiàn)：?80 及其以下的管線，經(jīng)常出現(xiàn)高于 80m/s 的高流速，其中有近一半的出現(xiàn)超過 100m/s 的高流速，更有甚者，流速高達(dá) 180m/s。一般的臭氧流量計(jì)在流速過高時(shí)，因劇烈的漏波現(xiàn)象，出現(xiàn)難以估算的誤差，所以也難于判斷超高流速的大小。
如圖 5 所示，漏波現(xiàn)象使流量偏小 44.3%。針對(duì)這一現(xiàn)象，采用頻譜分析＋動(dòng)態(tài)濾波，改善信號(hào)波動(dòng)，消除“漏波”現(xiàn)象。信號(hào)可以從時(shí)域分析，也可以從頻域分析。時(shí)域的信號(hào)圖像，是以時(shí)間軸為橫軸；頻域的信號(hào)圖像，是以頻率值作為橫軸。信號(hào)的時(shí)域分析主要側(cè)重于信號(hào)的直觀印象，例如信號(hào)的周期，信號(hào)在某一時(shí)間點(diǎn)的幅值等。信號(hào)的頻域分析，是采用傅里葉變換，將 X（t）變換成 X（f）。具體的變換方法在這里不再贅述。信號(hào)的頻譜圖表明了信號(hào)在不同頻率分量成分的大小，比時(shí)域圖像提供更具體更豐富的頻域圖像。在 Pico Scope 示波器中，可以利用其頻譜分析的功能來觀察信號(hào)的頻譜。信號(hào)的濾波處理通常是信號(hào)處理中常用的方法。信號(hào)的濾波主要是獲得自己想要的信號(hào)，并且過濾掉不符合實(shí)驗(yàn)要求的信號(hào)。通常有低通、高通、帶通、帶阻這幾種方式。實(shí)際應(yīng)用中，通常是設(shè)計(jì)濾波電路對(duì)電路進(jìn)行濾波。在測(cè)試測(cè)量中，往往需要的是濾掉信號(hào)中的雜波。盡可能排除影響因素，通過對(duì)臭氧流量計(jì)傳感器原始信號(hào)直接進(jìn)行實(shí)時(shí)頻譜分析，得出超高流速時(shí)的流量值。
如圖 6 所示。

5、結(jié)束語
由于臭氧流量計(jì)容易與數(shù)字電子設(shè)備配套使用，所是一種比較先進(jìn)、理想的測(cè)量儀器。漩渦升力與流量的平方呈正比、與流體的密度呈正比。因此，當(dāng)小流量、低流速或大流量、高流速的時(shí)候，對(duì)臭氧流量計(jì)提出了比較高的要求。針對(duì)這個(gè)問題，本文做了相應(yīng)的探討。為了使臭氧流量計(jì)盡可能測(cè)量低流速、小流量，必須提高信噪比，采用差動(dòng)壓電傳感器和差動(dòng)放大電路，盡量提高有效流量信號(hào)的幅值而降低機(jī)械振動(dòng)干擾信號(hào)的幅值。針對(duì)高流速、大流量產(chǎn)生漏波現(xiàn)象的問題，采用頻譜分析和動(dòng)態(tài)濾波的方法，盡量減少漏波現(xiàn)象。
圖 7 為未處理時(shí)流量計(jì)輸出的傳感器信號(hào)和放大器輸出信號(hào)。圖 7（a）上部為傳感器輸出的原始信號(hào)，下部為放大器輸出信號(hào)；
圖 7（b）為展開的視圖。圖 8 為處理后流量計(jì)輸出的傳感器信號(hào)和放大器輸出信號(hào)。圖 8（a）上部為傳感器輸出的原始信號(hào)，下部為放大器輸出信號(hào)；
圖 8（b）為展開的視圖。